結構

無塵室結構

無塵室所有周邊設備都會安裝在Ceiling Grid上,也因此好的Ceiling Grid必須考量到施工時的安全性,並且由於環太平洋區長有地震發生,好的骨架系統也可以有效減少地震時對於無塵室的影響。

無塵室依照不同的需求,以及設備的配置方式,會有不同的結構規劃。我們可以將無塵室分成垂直層流式以及水平層流式:

垂直層流式
水平層流式

垂直層流式

此形式是一般半導體廠最常見的形式。天花板架設濾網將空氣從上而下進行過濾,再將空氣引導至簍空地板後,再次回收。而垂直分流大致可以再分成兩類:Dry Type與Gel Type

Dry Type

Dry Type是目前大部份無塵室的使用方案,大量建設容易,空氣潔淨品質非常優異,再啟動風機後,無塵室環境可以快速達到穩定的潔淨狀態。 在流程上,首先外界的空氣藉由AHU(室外潔淨系統)進行初步過濾,引導至無塵室的天花板上,藉由置放於Ceiling Grid的FFU進行全面過濾,並且將潔淨空氣吹進無塵空間。因為無塵空間的空氣正壓,多餘的空氣將從地板引導至四周牆壁的風洞管線,再次流動至天花板上,進行再次過濾,如此循環。

潔淨度

Class 10~1000

適用環境

大多無塵室情境

Gel Type

使用Gel Type的用戶追求極致的空氣潔淨,通常用於RD的實驗室中。此方案由於完全的密封,可以讓無塵室空氣達到Class0,不讓一粒顆粒進入無塵室中。 流程上與Dry Type類似,只差在產生正壓的區域,以及Ceiling Grid的架設工藝。Gel Type的施工技術要求非常嚴格,當Ceiling Grid架設完後,所有隔板、濾網及照明設備皆被高耐久性的黏膠密封,確保所有空氣100%通過濾網。在架設時會將大型風機架設於迴風管道內,當空氣從地板通過風洞管線時,風機會將空氣加壓吹至天花板上,因為正壓的影響,全部空氣經由濾網進入無塵室無塵空間,在被引導至簍空地板後再次循環。

潔淨度

Class 0

適用環境

小型RD研究室

水平層流式

水平層流式常被用於食品、面板產業的自動化倉儲,當產品需要利用層架進行保存時,水平層流式無塵室設計可以確保產品產品完全不受灰塵污染,並且清除產品表面的灰塵。此外,除了特定產業外,也會與垂直分層式FFU進行搭配,增加空氣回流速度與換氣率。

水平層流式的無塵室大多使用水平式FFU或風牆(Fan Wall)進行風機以及濾網的裝設,空氣經由風機進行過濾及推動後,將空氣引導至無塵空間,再經由牆壁或天花板的回風系統回收至風牆後,再次進行過濾。

潔淨度

Class 100~1000

適用環境

自動化倉儲

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