濾網

濾網壓損關乎效率

若是外氣系統已經有良好的管控,物理濾網之壽命可以長達十年,但由於於無塵室從新建到物理濾網更換時間長達十年,隨著使用時間增加,濾網、管線也會堆積越來越多顆粒分子,如此勢必會造成風機產生的壓損產生。

不同潔淨度的濾網會造成不同的壓損,若是高潔淨度的ULPA濾網,在壽命結束前,所產生的壓損達到165Pa之譜。

依照使用環境不同,會有不同的結果

使用時間與壓損

初始狀況 10年後狀況
高潔淨濾網壓損 75-115 Pa 125-165 Pa
高架地板壓損 15 Pa 15 Pa
乾盤管壓損 50 Pa 50 Pa
TSP總壓損值 150-200 Pa 200-250 Pa
化學濾網壓損(選配) 50-55 Pa 50-55 Pa

依照使用環境不同,會有不同的結果

物理濾網

物理濾網由不規則的化學纖維及玻璃纖維製成,可以有效攔截空氣中的極小粒子。 依照歐盟ENs定義,依照不同的潔淨度需求,可以分成HEPA以及ULPA兩個類別。

化學濾網

近年半導體產業逐漸重視甲酸鹽、醋酸鹽、亞硝酸鹽可能在黃光情境下,發生晶圓污染的威脅,此外生產過程中揮發至空氣中的強酸、強鹼分子,也會有污染晶圓完成品的風險,因此FFU濾網是否能夠同時整合化學濾網就相當重要。

物理濾網分類

HEPA ULPA
潔淨度要求 ISO 5 - ISO 8 (Class 1000以上時) ISO 3 - ISO 5 (Class 1000以下時)
適用情境 一般無塵室 一般無塵室、RD研發
可過濾的粒子尺寸 0.3µm 0.12µm
過濾效率 99.95%(H13)、99.995%(H14) 99.9995%(U15)、99.99995%(U16)、99.999995%(U17)

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